1.温度:CMM的室内温度要求为20℃±2℃,测量室温度条件中还有时间梯度和空间梯度的要求,时间梯度的要求为每小时温度的变化不能超过1℃,空间梯度的要求为左右上下1米的距离温度差不能超过1℃,每天温度变化不超过1.5℃。测量室的空调要保证一直处于开启状态,并随时保证室温在要求的范围内,除非有超过3天以上CMM处于停用状态可以关闭空调。空调的送风口和回风口要根据空气流动规律,送风口处空气不能直接吹向测量机,测量机也要避免阳光直射。
2.湿度:蔡司三坐标测量机的室内湿度要求为40%~60%RH,过于低的湿度容易受静电的影响,过高的湿度会产生漏电或电器元件锈蚀,室内可以考虑配加湿器、冷干机或带有湿度调节功能的空调,随时保证室内湿度在要求的范围内。
3.压缩空气质量:CMM一般采用气浮轴承,因此需要压缩空气,气压要求为5bar±0.1bar,空气质量达到ISO8573标准的要求,除去测量机本身配置的精密过滤装置,还应配有前置过滤装置器。