对于三坐标测量机的光栅计数系统，多数厂家采用的是两种结构。一种是直接将光栅尺粘贴在三个轴的导轨材料上。另一种是采用光栅尺基座，将基座粘贴在三个轴的导轨上，再将光栅尺装人光栅尺的基座中。
对于直接将光栅尺粘贴在导轨上的三坐标来说，温度对其的影响要考虑两方面的因素：一是导轨材料受温度的影响，二是光栅尺本身的变化。此时，如果使用温度补偿功能的话，要在导轨材料和光棚尺两种材料的线性膨胀中选择一个合适的值来确定。
对于使用光栅尺基座的计数系统来说，一种是两端预紧的，一种是一段固定的。对于两端预紧的系统来说，仍然要考虑导轨材料和光栅尺两种材料的热膨胀。对于一段固定的，可以只考虑光栅尺本身的线性膨胀。